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应用于五金件、不锈钢板材、陶瓷工艺品等，如手表、手机金属壳、洁具、电子产品、水晶玻璃等。该系列设备主要是（集）直流磁控溅射, 中频溅射和多弧离子三种技术融合一体，可适应广泛镀膜靶材，无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜, 使膜层附着力、致密度、从复度及颜色一致性好等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、金刚石膜（DLC）、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。可编程序控制器（PLC）+触摸屏（HMI）组合电气控制系统，全自动控制。
《产品参数》
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设备型号
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SJ-1400
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SJ-1600
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SJ-2000
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真空室尺寸
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1400×1300
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1600×1300
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2000×2500
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制膜种类
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金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
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电源类型
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直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
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多弧靶
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多弧靶5个或18个，1个或2个柱弧靶
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孪生靶
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中频孪生柱靶或平面靶（1-4对）
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真空室结构
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立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统
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真空系统
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旋片泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵
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加热系统
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常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热
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充气系统
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质量流量控制仪（1-4路）
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极限真空
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6×10－4pa（空载、净室）
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抽气时间
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空载大气抽至5×10－3pa小于13分钟
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保压率
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1h≤0.6pa
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工件旋转方式
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上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分
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控制方式
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手动＋半自动/触摸屏＋PLC
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备注
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真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做
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真空镀膜设备 