详细介绍
应用于塑料制品、陶瓷、树脂、塑料餐具、大型车标、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业。 该系列设备主要是使用直流(或中频)磁控溅射,可适应广泛镀膜靶材,如:铜、钛、铬、不绣钢、镍等金属材料,可以利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。主机控制采用可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电气控制系统。全自动控制,配置先进大功率磁控电源,恒流输出,克服靶中毒。
技术参数说明
设备型号
SJ-1200
SJ-1400
SJ-1600
SJ-2250
真空室尺寸
1200×1500
1400×1950
1600×2000
2250×2900
制膜种类
多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等
电源类型
直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源
圆柱靶
直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶
真空室结构
立式双开门、立式单开门
真空系统
滑阀泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵
充气系统
质量流量控制仪(1-4路)
极限真空
6×10-4pa(空载、净室)
抽气时间
空载大气抽至5×10-3pa小于15分钟
工件旋转方式
6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速
控制方式
手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC
备注
真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做